XPS

X-ray Photoelectron Spectroscopy (Röntgen Photoelektronspektroskopie)

Eine Technik, um die elementare Zusammensetzung einer Festkörperoberfläche, durch Messung der emittierten Elektronen als Antwort einer Bestrahlung mit Röntgenstrahlung verschiedener Wellenlänge, zu messen.